等离子体
等离子体的简介
含有足够数量的自由带电粒子,有较大的电导率,其运动主要受电磁力支配的 物质状态。等离子体由带正电的离子和带负电的电子,也可能还有一些中性的原 子和分子所组成。等离子体在宏观上一般是电中性的,即它所含有的正电荷和负 电荷几乎处处相等。由于带电粒子之间的作用主要是长程的库仑力,每个粒子都 同时和周围很多粒子发生作用,因此等离子体在运动过程中一般表现出明显的集 体行为。等离子体的性质不同于固体、液体和气体,常称为物质的第四态。
闪电、极光等是地球上的天然等离子体的辐射现象。电弧、日光灯中发光的 电离气体,以及实验室中的高温电离气体等是人造的等离子体。 在地球以外,如围绕地球的电离层、太阳及其他恒星、太阳风、很多种星际 物质,都是等离子体。天然的等离子体在地球上虽不多见,但在宇宙间却是物质 存在的主要形式,它占宇宙间物质总量的绝大部分。
等离子体的获得方式
等离子体的条件
空间尺度要求 :等离子体线度远大于德拜长度
lD << L
时间尺度要求:等离子体碰撞时间、存在时间远大于特征响应时间
t >> tp
集合体要求:在德拜球中粒子数足够多,具有统计意义
ND = ne (4 plD3 /3 ) >> 1
等离子体的分类
等离子体的应用
1 冷等离子体应用
等离子体的化学过程:刻蚀、化学气相沉积(成膜)
等离子体材料处理:表面改性、表面冶金
典型应用:
特征类金刚石表面制造
实验室与日本原子力所先进科学研究中心合作,开展了非平衡薄膜表面制造的研究,成功第地制备了纳米尺度的针状表面、波纹表面,树枝状表面、正弦表面等表面结构,其中波纹表面,是应用薄膜生长过程的自组织过程中直接形成的。
毫米级厚金刚石片制备研究
应用PCVD方法开展金刚石模制备研究开展了多年,对制备过程中物理化学及工艺过程进行了系统研究。可以稳定地制备高质量毫米量级厚度的金刚石片,并用金刚石膜加工成金刚石电子热沉片,热导率高达7.6W/(k·cm),可用于大功率电子器件。
2 热等离子体应用
高温加热:冶金、焊接、切割
材料合成、加工
陶瓷烧结、喷涂、三废处理
3 等离子体军事及高技术应用
