电容式传感器
电容式传感器工作原理
电容式传感器的核心部分就是具有可变参数的电容器。若忽略边缘效应，平板电容器的电容C=εA／δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，如果保持其中两个不变，而仅仅改变其中一个参数，就可以把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可以转化为电量输出。
电容式传感器的分类
根据测量原理不同，电容式传感器可分为变面积型传感器；变极距型传感器；变介质型传感器。极距变化型一般用来测量微小的极距变化。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
